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平面平晶用途及测量方法

发布: 点击次数:1670次 时间:2018-04-24 来源:

平晶的用途:

平行平晶是用于以干涉法测量块规,以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测 平晶

量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。

适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用,也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

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平晶的检测:

平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的,故其测量方法称为平晶干涉法(图2),也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面,且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下,则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直,相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好;如干涉条纹弯曲,则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)

λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量,ω为干涉带间距。


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